半導(dǎo)體晶圓制造廠內(nèi)AMHS（ 自動物料搬送系統(tǒng) - AMHS Automatic Material Handling System）的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統(tǒng)針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸，即晶圓純運輸機器人負責Interbay，作為工序區(qū)間搬送系統(tǒng)；復(fù)合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業(yè)。兩者可相互對接協(xié)作，應(yīng)用于工序區(qū)間或工廠間運輸。更加全面實現(xiàn)全廠物料自動搬運。
